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應(yīng)用領(lǐng)域

真空鍍膜是半導(dǎo)體芯片制作過程中必不可少的一道工序。由于其溫度要求高,腔體小,所以Supcold專門設(shè)計了超低溫類型的設(shè)備以滿足半導(dǎo)體鍍膜的需求。該種類設(shè)備溫度低,制冷快。同時該設(shè)備是雙路輸出,可以同時滿足對MC和LC真空室的制冷。